Profilometr FP dla dużych prób produkowane przez

firmy Toho Technology

Profilometry dotykowe serii FP produkowane przez Toho Technology wykorzystuje się zarówno w badaniach jak i produkcji do charakteryzacji metrologicznej powierzchni próbek wielkoformatowych w sytuacji, gdy zakres takich badań wykracza poza możliwości mniejszych profilometrów.

Features
Powtarzalność skanowania profilometrów typu FP-A: 10 Å ; profilometrów typu FP-X: 15 Å
Powtarzalność X oraz Y: ±2 μm
zakres długości skanowania: 30 mm ~ 90 mm z opcją "stress"
zakres pionowy: 0 – 130 μm
cięzar igły: 0.5 mg – 15 mg

Obecnie na rynku dostępna jest bogata gama profilometrów. Jednak w sytuacji, gdy gabaryty próbek wykraczają poza standardowe rozmiary, osiągając długość większą niż 400 mm, profilometry Toho serii FP okazują się być doskonałym rozwiązaniem umożliwiającym pomiar i charakteryzację tego typu próbek.

Profilometry Toho wykorzystują sprawdzoną konstrukcję KLA-Tencor łącząc mikro-głowicę i końcówkę stykową z dużą ruchoma płyta transferową. Precyzyjna regulacja siły zapewnia rzetelny pomiar przy doskonałej rozdzielczości pionowej i dokładności, powodując, że profilometry FP stanowią najlepszy wybór w przypadku próbek o podanych poniżej rozmiarach.

Profilometry Toho FP posiadają funkcję automatycznej analizy wysokości stopni, falistości oraz topografii powierzchni i płaskości, dwu- i trójwymiarowe obrazowanie charakterystyki topografii oraz opcjonalną funkcję pomiaru rezystywności sondą 4-punktową.

Wysokość cienkich filmów

Dokładny pomiar profilu umożliwia określenie grubości niezwykle cienkich warstw przy powtarzalności skanu rzędu  do 1nm.

Wysokość grubych warstw

Duży zakres wysokości pionowej wynoszący do 130 µm umożliwia, niezależnie od pomiaru warstw cienkich, również wyznaczanie grubości warstw bardzo grubych.

Charakteryzacja chropowatości powierzchnii
Krzywizna i forma powierzchni
Opcjonalny pomiar naprężeń 2-D

Contacts

Request further information
Sales Manager
+48 515 166893
Fax: +48 32 7021160

Our partner

Follow us: twitter linkedin facebook
European offices
© LOT Quantum Design 2016